潔(jie)凈(jing)室的(de)(de)溫濕(shi)度主要是根據工藝要求來確(que)定(ding)的(de)(de)。在滿足(zu)工藝要求的(de)(de)條件下，應考慮人的(de)(de)喜好(hao)。不(bu)同行業的(de)(de)潔(jie)凈(jing)室都有(you)不(bu)同的(de)(de)溫濕(shi)度控制范圍，對監測儀器(qi)也有(you)不(bu)同的(de)(de)要求。本章將(jiang)從半導體(ti)行業來探討(tao)潔(jie)凈(jing)室的(de)(de)溫濕(shi)度方(fang)案。

　　面板顯(xian)示、微機電、晶圓、芯片等高精(jing)(jing)尖要(yao)(yao)求的(de)(de)半導(dao)體行業加工精(jing)(jing)度(du)越精(jing)(jing)細，對溫(wen)濕度(du)波(bo)動的(de)(de)范圍要(yao)(yao)求越小。如在大(da)規(gui)模集成電路生產(chan)的(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工藝中，作為掩(yan)膜板材料的(de)(de)玻璃與硅片的(de)(de)熱膨脹(zhang)系數的(de)(de)差要(yao)(yao)求越來越小。直徑100um的(de)(de)硅片，溫(wen)度(du)上升1℃，就會引起0.24um線性(xing)膨脹(zhang)。在這樣的(de)(de)情境下，溫(wen)度(du)需(xu)要(yao)(yao)準確控制，避免(mian)影響產(chan)品(pin)的(de)(de)質量(liang)。

　　半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

　　潔凈(jing)室內溫度(du)的(de)(de)(de)影響主要是從產品精度(du)，合格(ge)率以(yi)及污(wu)染的(de)(de)(de)角(jiao)度(du)（溫度(du)升高后，會(hui)引起(qi)人出汗，汗水會(hui)對產品產生污(wu)染，特別(bie)是怕鈉的(de)(de)(de)半(ban)導體車間）來考慮的(de)(de)(de)。越精細、集(ji)成度(du)高的(de)(de)(de)電子加(jia)工，對溫度(du)的(de)(de)(de)敏感性越大。

　　濕(shi)度(du)太(tai)高會(hui)使物體表(biao)面的(de)灰塵難以清除，但是相對濕(shi)度(du)低于(yu)30%時(shi)，又由于(yu)靜電力(li)的(de)作(zuo)用使粒子也容易吸(xi)附于(yu)物體表(biao)面，靜電會(hui)使半導體器(qi)件發(fa)生擊穿。

　　按照半導體生產工藝(yi)的(de)(de)(de)特(te)點，潔凈室一般溫(wen)度控(kong)制在20-25℃，濕度控(kong)制在50-60%RH，這個范圍不但(dan)滿足了生產工藝(yi)的(de)(de)(de)要求，而且人在這樣的(de)(de)(de)環(huan)境下也(ye)感到舒服。

　　羅卓尼克溫濕度監測:

　　羅(luo)卓尼(ni)克溫(wen)濕度(du)變送器憑借其準確(que)、穩(wen)定(ding)、易(yi)用等的(de)(de)特性贏得了半導(dao)體(ti)(ti)客(ke)戶的(de)(de)青睞(lai)。無錫徽(hui)科特服務的(de)(de)半導(dao)體(ti)(ti)客(ke)戶不(bu)斷增多，如維信諾(nuo)、惠科光(guang)電，廈門天馬等，他們對溫(wen)濕度(du)的(de)(de)控制(zhi)都(dou)很(hen)嚴格，羅(luo)卓尼(ni)克的(de)(de)HF1，HF5成為(wei)了他們選(xuan)擇的(de)(de)明星(xing)款(kuan)產(chan)品。這兩款(kuan)變送器很(hen)好的(de)(de)滿足了客(ke)戶對儀器高精度(du)、長期穩(wen)定(ding)、帶顯示和(he)分(fen)析儀在線校準功能，可以為(wei)生產(chan)運(yun)營提供關(guan)鍵控制(zhi)和(he)監測數據的(de)(de)需求(qiu)。

　　HF1溫濕度變送器:

　　HF1系列是(shi)測量相對濕度(du)和溫度(du)的經濟款(kuan)變送器，性價比高。可選SW21軟(ruan)件(jian)進行變更量程并對變送器進行校準和標定。

　　?23℃±5℃精度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級(ji)版）

　　?測(ce)量范圍：0至100%RH/-20℃至60℃

　　?體積小巧，容易安裝

　　?USB接口

　　?工(gong)廠校準35%RH，80%RH

　　?提供OEM定(ding)制型號和精度

　　HF5溫濕度變送器:

　　HF5系列(lie)變送器可配合所有帶(dai)AirChip芯片的(de)HC2探頭(tou)使用。由(you)于探頭(tou)的(de)高精度(du)(du)，HF5系列(lie)變送器能夠完成(cheng)高精度(du)(du)的(de)測量。其(qi)探頭(tou)更換簡(jian)單輕松(song)，自帶(dai)實體(ti)按鈕可現場輕松(song)校準，屏幕背光可調節。

　　?精度(du)：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常用(yong)精度(du)）

　　?測(ce)量范圍：-50至(zhi)(zhi)100℃/0至(zhi)(zhi)100%RH（常(chang)用(yong)范圍）

　　?數字輸(shu)出，可以(yi)與模擬量輸(shu)出結合使(shi)用

　　?可(ke)以提供(gong)多種濕(shi)度學參(can)數輸出

　　?HF5軟件任(ren)意(yi)點校準(zhun)，保持更穩定、準(zhun)確的精(jing)度

　　?可以作為(wei)系統驗證模擬器使用

　　?可選防爆款

　　?提供OEM定制型號，可(ke)選其他探(tan)頭