潔凈室(shi)(shi)的溫濕度(du)主(zhu)要是根據工藝要求(qiu)來(lai)確(que)定的。在滿足工藝要求(qiu)的條件下(xia)，應考(kao)慮人(ren)的喜好。不同行業的潔凈室(shi)(shi)都有不同的溫濕度(du)控制范圍，對監(jian)測(ce)儀器也(ye)有不同的要求(qiu)。本章(zhang)將從半導體行業來(lai)探(tan)討潔凈室(shi)(shi)的溫濕度(du)方案。

　　面板顯示(shi)、微機電、晶圓、芯片(pian)等高精(jing)尖要(yao)求的(de)(de)(de)半導體行業加工精(jing)度越(yue)(yue)精(jing)細，對溫濕度波動的(de)(de)(de)范圍(wei)要(yao)求越(yue)(yue)小。如在(zai)大規模(mo)集成電路生產(chan)的(de)(de)(de)光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的(de)(de)(de)玻璃與硅(gui)片(pian)的(de)(de)(de)熱膨脹系數的(de)(de)(de)差(cha)要(yao)求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。直徑100um的(de)(de)(de)硅(gui)片(pian)，溫度上升1℃，就會引起0.24um線性膨脹。在(zai)這樣的(de)(de)(de)情境下(xia)，溫度需要(yao)準確控制，避(bi)免(mian)影(ying)響產(chan)品(pin)的(de)(de)(de)質量。

　　半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

　　潔凈室內溫度(du)的(de)影(ying)響主要是從產品精度(du)，合格率(lv)以及污染(ran)的(de)角度(du)（溫度(du)升高后(hou)，會(hui)引起人出汗，汗水會(hui)對(dui)(dui)產品產生污染(ran)，特別是怕鈉(na)的(de)半導(dao)體(ti)車間）來考(kao)慮的(de)。越(yue)精細(xi)、集成度(du)高的(de)電子(zi)加工，對(dui)(dui)溫度(du)的(de)敏感性越(yue)大。

　　濕度太高會使(shi)物體(ti)表面(mian)的(de)灰(hui)塵難以清除(chu)，但是(shi)相對(dui)濕度低(di)于(yu)30%時(shi)，又由于(yu)靜電力的(de)作用(yong)使(shi)粒子也容(rong)易吸附于(yu)物體(ti)表面(mian)，靜電會使(shi)半導體(ti)器(qi)件(jian)發生擊穿。

　　按照半導體(ti)生產(chan)工(gong)藝的特(te)點，潔凈室一般(ban)溫度控(kong)制在(zai)(zai)(zai)20-25℃，濕度控(kong)制在(zai)(zai)(zai)50-60%RH，這個(ge)范圍不但滿足(zu)了生產(chan)工(gong)藝的要(yao)求，而且人在(zai)(zai)(zai)這樣(yang)的環(huan)境下也感到舒服(fu)。

　　羅卓尼克溫濕度監測:

　　羅卓尼克溫濕度變送(song)(song)器憑借其準確(que)、穩(wen)(wen)定、易用等的(de)特性贏得了半導(dao)體客戶的(de)青睞。無錫(xi)徽科特服務(wu)的(de)半導(dao)體客戶不斷增多，如維信諾(nuo)、惠科光電(dian)，廈門天馬等，他們(men)(men)對(dui)溫濕度的(de)控(kong)制(zhi)都很嚴格，羅卓尼克的(de)HF1，HF5成為了他們(men)(men)選(xuan)擇的(de)明星款產品。這(zhe)兩款變送(song)(song)器很好的(de)滿足了客戶對(dui)儀器高精(jing)度、長(chang)期穩(wen)(wen)定、帶顯示和分析儀在(zai)線校準功能，可以(yi)為生產運營提(ti)供關鍵控(kong)制(zhi)和監(jian)測數據的(de)需(xu)求。

　　HF1溫濕度變送器:

　　HF1系列是測量(liang)相對濕度(du)和(he)溫度(du)的(de)經(jing)濟款變(bian)送器，性價(jia)比高(gao)。可選SW21軟(ruan)件進行(xing)變(bian)更(geng)量(liang)程(cheng)并對變(bian)送器進行(xing)校準(zhun)和(he)標定。

　　?23℃±5℃精(jing)度(du)：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級版）

　　?測量(liang)范圍(wei)：0至100%RH/-20℃至60℃

　　?體積小巧，容易安裝

　　?USB接口

　　?工廠校準35%RH，80%RH

　　?提供OEM定制型號和精(jing)度

　　HF5溫濕度變送器:

　　HF5系(xi)列(lie)變送(song)器(qi)可(ke)配合所有帶AirChip芯片的(de)HC2探頭使用。由于探頭的(de)高精度，HF5系(xi)列(lie)變送(song)器(qi)能夠完成高精度的(de)測量。其探頭更換簡(jian)單(dan)輕松，自(zi)帶實體(ti)按(an)鈕可(ke)現場(chang)輕松校(xiao)準，屏(ping)幕背光可(ke)調節。

　　?精度：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常(chang)用精度）

　　?測量范圍(wei)(wei)：-50至100℃/0至100%RH（常用(yong)范圍(wei)(wei)）

　　?數(shu)字輸(shu)出，可(ke)以與模擬(ni)量輸(shu)出結合(he)使用

　　?可以提供多種濕(shi)度學參數輸出

　　?HF5軟件(jian)任意點校(xiao)準，保持更(geng)穩定、準確(que)的精度

　　?可以(yi)作為(wei)系統驗證模擬器(qi)使用(yong)

　　?可選防爆款

　　?提供OEM定制型號，可選(xuan)其他探頭